三氟化氮 Nitrogen trifluoride
結(jié)構(gòu)式
| 物競編號 | 00BE |
|---|---|
| 分子式 | F3N |
| 分子量 | 71 |
| 標(biāo)簽 | 電子級三氟化氮, Nitrogen trifluoride，Electronic grade, 蝕刻氣 |
編號系統(tǒng)
CAS號：7783-54-2
MDL號：暫無
EINECS號：232-007-1
RTECS號：暫無
BRN號：暫無
PubChem號：24862062
物性數(shù)據(jù)
1.性狀：無色、帶霉味的氣體。[1]
2.熔點（oC）：-208.5[2]
3.沸點（oC）：-129[3]
4.相對密度（水=1）：1.89（沸點，液體）[4]
5.相對蒸氣密度（空氣=1）：2.45[5]
6.臨界溫度（oC）：-39.3[6]
7.臨界壓力（MPa）：4.53[7]
8.溶解性：不溶于水。[8]
毒理學(xué)數(shù)據(jù)
1.急性毒性[9] LC50：19000mg/m3（大鼠吸入，1h）；5600mg/m3（小鼠吸入，4h）
2.刺激性 暫無資料
3.亞急性與慢性毒性[10] 大鼠于308mg/m3濃度下，每天吸入7h，共4~5個月，見肝、腎有輕至中度病理改變，脾腫大，尿氟增高。
生態(tài)學(xué)數(shù)據(jù)
1.生態(tài)毒性 暫無資料
2.生物降解性 暫無資料
3.非生物降解性 暫無資料
4.其他有害作用[11] 室溫氣體，會造成全球氣候變暖。
分子結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)
1、摩爾折射率：6.26
2、摩爾體積（cm3/mol）：52.1
3、等張比容（90.2K）：86.3
4、表面張力（dyne/cm）：7.5
5、極化率（10-24cm3）：2.48
計算化學(xué)數(shù)據(jù)
1.疏水參數(shù)計算參考值（XlogP）:1.9
2.氫鍵供體數(shù)量:0
3.氫鍵受體數(shù)量:4
4.可旋轉(zhuǎn)化學(xué)鍵數(shù)量:0
5.互變異構(gòu)體數(shù)量:無
6.拓撲分子極性表面積3.2
7.重原子數(shù)量:4
8.表面電荷:0
9.復(fù)雜度:8
10.同位素原子數(shù)量:0
11.確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0
12.不確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0
13.確定化學(xué)鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0
14.不確定化學(xué)鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0
15.共價鍵單元數(shù)量:1
性質(zhì)與穩(wěn)定性
1.高純NF3幾乎沒有氣味，但商業(yè)用NF3由于有痕量活性氟，因而具有刺激性氣味。臨界溫度氣體。NF3是一種熱力學(xué)穩(wěn)定的氧化劑，大約在350℃時，它的反應(yīng)活性相當(dāng)于氧，在高溫下，NF3能與許多元素反應(yīng)生成N2F4和相應(yīng)的氟化物。三氟化氮是一種毒物，其主要危害是由于呼吸道吸入而中毒。
2.穩(wěn)定性[12] 穩(wěn)定
3.禁配物[13] 還原劑、易燃或可燃物
4.避免接觸的條件[14] 受熱
5.聚合危害[15] 不聚合
貯存方法
1.在70℃以下NF3氣體對普通金屬是不腐蝕的，因此鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼在70℃以下均可用作包裝材料。用鋼瓶和鋁合金瓶充裝，對氣瓶每兩年要檢驗一次。按有毒高壓液化氣體規(guī)定運輸，國外規(guī)定可以用汽車、火車運輸，不能用飛機運輸。氣瓶充裝系數(shù)不大于0.01。
2.儲存注意事項[16] 儲存于陰涼、通風(fēng)的有毒氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、還原劑、食用化學(xué)品分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
合成方法
在熔融氟銨酸存在下，采用氨直接氟化工藝，其反應(yīng)式為：
反應(yīng)產(chǎn)物經(jīng)過除霧器、淋洗器、分子篩吸附器，以及真空蒸餾，可分別除去各種雜質(zhì)，最后用低溫法收集得到NF3。
用途
1.NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染。氫與NF3反應(yīng)，在瞬間伴隨放出大量的熱，這就是NF3在高能化學(xué)激光器方面大量應(yīng)用的原理。在高溫下，NF3與有機化合物反應(yīng)常伴有爆炸性，操作時應(yīng)十分謹(jǐn)慎。
2.用作高能燃料。[17]
安全信息
危險運輸編碼：暫無
危險品標(biāo)志：
氧化劑
文獻
[1~17]參考書：危險化學(xué)品安全技術(shù)全書.第一卷/張海峰主編.—2版.北京；化學(xué)工業(yè)出版社，2007.6 ISBN 978-7-122-00165-8
備注
暫無
表征圖譜
暫無圖譜
統(tǒng)計數(shù)據(jù)
共收錄化學(xué)品數(shù)據(jù)
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